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压力传感器有哪些误差是无法避免的?

发布时间: 2022-11-08  点击次数: 27次
  压力传感器是利用电容敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的一类传感器。一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极,当薄膜感受压力而变形时,薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化,通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号,从而获得所测气体压力的变化,达到测量压力的目的。主要功能是能感受压力信号,并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。该传感器通常由压力敏感元件和信号处理单元组成。
  压力传感器哪些误差是无法避免的?
  首先的偏移量误差:由于压力传感器在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。
  其次是灵敏度误差:产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。
  第三是线性误差:这是一个对压力传感器初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线称重传感器。
  最后是滞后误差:在大多数情形中,压力传感器的滞后误差可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。

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